Gambaran keseluruhan produk
Nice-Tech menawarkan dua sistem etsa silikon khusus untuk saiz wafer yang berbeza, kedua-duanya berdasarkan teknologi ICP dan disesuaikan untuk pengeluaran besar-besaran IC.
Sistem 12-Inci (SES-12)
Memfokuskan pada proses 12-hadapan IC-hujung (FEOL). Terdiri daripada ruang goresan ICP dan modul pemindahan, ia meliputi goresan silikon, goresan dielektrik, goresan gerbang, ceruk W dan SADP, yang direka bentuk untuk corak ketepatan tinggi peranti logik dan memori.
Sistem 8-Inci (SES-8)
Sistem berbilang-ruang untuk fabrik 8-inci, berpusat pada proses pintu. Ia memastikan Kurang daripada atau sama dengan 5% dalam-wafer dan wafer-keseragaman goresan wafer, kawalan zarah yang sangat baik dan menyokong ceruk AA, STI, spacer dan W.
Kelebihan
Liputan Proses yang Luas
Kami mempunyai dua persediaan utama di sini. Sistem 12-inci mengambil semua jenis proses FEOL, tiada masalah. Bagi yang 8 inci? Ia tertumpu pada get dan proses yang berkaitan, dan ia sangat sesuai dengan nod 0.11μm dan ke atas.
Ketepatan & Kestabilan Tinggi
Ketepatan adalah tempat sistem ini bersinar. Model 12-inci memberikan keseragaman-peringkat teratas dan selektiviti etch-tepat apa yang diminta oleh proses lanjutan. Versi 8-inci juga mempunyai ciri tersendiri: sisihan keseragaman yang rendah, serta kawalan zarah yang ketat, jadi anda boleh mengharapkan hasil yang konsisten.
Massa-Pengeluaran & Kos-Kecekapan
Paling penting, kedua-duanya bersedia untuk pengeluaran besar-besaran. 12-inci dibina untuk barisan pengeluaran-besar, yang masuk akal untuk larian volum-tinggi. Walau bagaimanapun, 8-inci adalah pilihan pintar jika anda menaik taraf kapasiti-ia menjimatkan ruang dan kos, yang sentiasa menjadi tambahan untuk operasi.
Permohonan
Pembuatan IC FEOL
Sistem 12-inci untuk proses FEOL logik/memori 12-inci; Sistem 8-inci untuk etsa pintu 8-inci.
Proses Lanjutan
Sistem 12-inci menyokong rehat SADP/W; Sistem 8-inci berfungsi untuk proses STI/spacer.
Peningkatan Kapasiti
12-inci bercantum ke dalam fabrik besar; 8-inci menyediakan sokongan kos efektif untuk fabrik pertengahan kecil.
Parameter
|
kategori |
Sistem Goresan Silikon 12-inci |
Sistem Goresan Silikon 8-inci |
|
Keserasian Wafer |
Wafer IC 12-inci (300mm), disesuaikan untuk barisan pengeluaran besar-besaran |
Wafer IC 8 inci; serasi dengan 0.11μm dan nod teknologi canggih |
|
Konfigurasi Dewan |
Ruang goresan ICP + modul pemindahan |
Ruang goresan ICP + modul pemindahan; reka bentuk berbilang-ruang untuk pengeluaran besar-besaran |
|
Keupayaan Proses Utama |
Goresan silikon, goresan dielektrik, goresan gerbang, reses W, SADP |
Goresan pagar, AA, STI, goresan pengatur jarak, ceruk W |
|
Keseragaman Etch |
Kawalan keseragaman yang unggul (memenuhi piawaian ketepatan nod lanjutan) |
Kurang daripada atau sama dengan 5% dalam-wafer; Kurang daripada atau sama dengan 5% wafer-ke-wafer |
|
Kawalan Zarah |
Kawalan zarah yang ketat untuk hasil produk yang tinggi |
Kawalan zarah yang sangat baik untuk pengeluaran besar-besaran yang stabil |
|
Pematuhan Industri |
Sesuai untuk pengeluaran volum IC 12-inci; mematuhi piawaian pengeluaran besar-besaran semikonduktor |
Reka bentuk dioptimumkan bebas; sesuai dengan ruang fab 8-inci dan permintaan kos untuk peningkatan kapasiti |
Soalan Lazim
S: Apakah saiz wafer yang disokong oleh kedua-dua sistem?
J: Sistem 12 inci menyokong wafer IC 12 inci (300mm), dan sistem 8 inci menyokong wafer IC 8 inci.
S: Apakah proses teras yang mereka meliputi?
J: Sistem 12-inci meliputi goresan silikon, goresan dielektrik, SADP, W recess, dsb.; sistem 8-inci memfokuskan pada goresan gerbang dan menyokong STI, etch spacer, dsb.
S: Nod teknologi manakah yang serasi dengannya?
J: Sistem 12-inci menyesuaikan diri dengan nod teknologi canggih; sistem 8-inci serasi dengan nod lanjutan 0.11μm dan ke atas.
S: Adakah kedua-dua sistem sesuai untuk pengeluaran besar-besaran?
A: Ya. Sistem 12-inci sesuai dengan barisan pengeluaran-besar, manakala sistem 8-inci adalah penjimatan ruang dan kos efektif untuk pengeluaran besar-besaran.
S: Apakah keseragaman etch sistem 8-inci?
J: Ia mempunyai Kurang daripada atau sama dengan 5% dalam-keseragaman wafer dan Kurang daripada atau sama dengan 5% wafer-ke-keseragaman wafer.
Cool tags: sistem goresan silikon, pengeluar sistem goresan silikon China, pembekal
